再生晶圓

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#標的 晶片製程升級使晶背供電成為必然趨勢

現代邏輯晶片結構包含基板、電晶體層與金屬佈線層。傳統供電方式是從晶圓正面由外部導入電流,經60~70層金屬逐層下傳至電晶體,隨著線寬縮小、導線阻值上升、壓降(IR Drop)惡化,造成訊號與電源線間的

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