裝機工程師是負責連接機台與廠務系統的工程，大概分為電E+plug-in包、純水UPW包、塑材Plastic+Drain+PCW?包、氣體Gas包、化學Chemical包、機台防震基座Foundation+Seismic、廢氣GEX+SEX+AEX+VEX包、高真空Pumping line加上上述管路的配置空間管理。 他們在裝機高峰時工作量很大、很操，即使施工人員比廠務主系統端守規矩，但工程量大，很容易被ERC稽核缺失。 不過因為不帶系統，只要上班時管好工人、材料、施工進度及搞好與ERC關係，下班被call的機會不大，而且不用輪班。